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5850EMH | 5851EMH系列高温质量流量控制计

5850EMH / 5851EMH

来自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合金属密封泄漏完整性,为高温气体测量和控制提供了性能,具有多种选择,允许应用灵活性。5850EMH 系列的核心是稳定的传感器,其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。

5850emh

特点

  • 泄漏完整性(小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He)
  • 宽流速范围(0.003 – 100 slpm)
  • 高纯度 VAR 316L 不锈钢
  • 无磨粒
  • 氦泄漏检查端口
  • 常闭阀(可选常开阀)
  • 电致动阀复位
  • 低命令流量断流
  • TTL 兼容”关阀”功能

优势

  • 稳定、可靠的产品平台
  • 高流量,高达 100 lpm(N2 当量)
  • 全金属流路提高气体纯度及减少泄漏
  • 仅使用模拟输入/输出容易安装和维修

应用

  • 光纤制造——MCVD,OVD,AVD
  • 水汽流量控制

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