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产品分类

GF135 系列金属密封热质量流量控制器

GF135 系列金属密封热质量流量控制器

半导体产品

金属密封热

使用 GF135 诊断式压力变化补偿型 (PTI) 质量流量控制器确保关键流量过程的准确控制并使通量。“智能”质量流量控制器,该产品执行累积衰减比流量测定,无需停止过程气体输送。半导体制造商可利用该产品实时验证过程气体流量准确性、检查泄漏情况并监视传感器稳定性同时无需将流量控制器从气路上拆除。

GF135 PTI MFC 将全金属接液流路、稳定功能和过程气体精度相结合,能够改变各种淀积工艺的生产效率和吞吐率。

gf135

特点

  • 长期零点稳定性,每年变动小于满量程的 ± 0.5%
  • 稳定时间短:<300 ms – <400 ms
  • 满量程流速:3 sccm 至 5 slm
  •  4µ 英寸 Ra 表面处理
  • 借助衰减率 (ROD) 技术实现的嵌入式实时流量故障检测与预测功能
  • 加强过程气体测量精度 – 可提升三倍 – 经气体实测优化的高级气体建模功能
  • 压力变化补偿 (PTI) 技术
  • 高清晰度的可旋转电子 LCD 显示屏能够本地显示流量、温度、压力和网络地址
  • DeviceNet™、RS-485 和模拟接口

优势

  • 实时流量故障检测功能可快速地根据流量偏差进行调节并能够提高晶圆成品率
  • 传感器稳定性跟踪功能可通过预防性维护延长系统运行时间
  • 阀泄漏跟踪功能有助于降低”晶圆效应”
  • 提高过程气体测量精度,使其满足挑战性的 10 nm 级过程气体化学控制要求
  • 产品拥有稳定速度,可减少非生产性流量稳定步骤,支持 3D 设备加工
  • 提高压力变化补偿能力并实现高级过程气体控制,从而强化蚀刻和沉积控制
  • 耐腐蚀 Hastelloy® 传感器拥有长期稳定性,可确保产率和通量
  • 支持表面安装和 VCR MFC 的插入式更换,便于对现有系统中的关键气路进行升级

应用

  • 半导体高级蚀刻工具

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