GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSL / GF121
GF100 系列金属密封热质量流量控制器和仪表
GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表性能:快速响应和可重现的高纯度/纯度过程气体输送。专为半导体、MOCVD 等其他气体流量控制应用设计,GF100 系列在可靠性方面Y于半导体行业标准水平,可确保测量结果可重现并且长时间使用后性能依然高度稳定。一台采用标准 MultiFlo™ 技术的 MFC 即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求,无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度。
结果:提高工艺灵活性和效率辅以业内Z高纯度的过程气体,有助于Z大限度提高产率和生产效率。
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