5850EM / 5851EM系列金属密封热质量流量控制器
经验证长期稳定,超纯洁净体系,适用于高压应用
5850EM 系列金属密封热质量流量控制器的性能基于广泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC,可在洁净环境下测量和控制高压气体流量并具有经验证的稳定性。该产品的金属密封结构和电镀抛光接液表面可确保出色的流量完整性并有助于整体提升过程效率,这得益于设备无需对气体压力进行连续监测和重新调节即可保证流量稳定。
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