点击这里给我发消息 点击这里给我发消息

产品分类

4850 | 4860系列橡胶密封热式质量流量控制器

 4850 / 4860系列橡胶密封热式质量流量计和控制器

弹性体密封热

响应时间极快,适用于对时间要求严格的工艺

热式质量流量计和控制器的响应速度越快,工艺就越高效,生产效率越高。响应速度是 4800 系列的优势:该产品将基于 MEMS 的热传感器与独有的 PID 算法相结合以控制阀的响应速度,因此使4800 系列控制器能够根据设定值变化快速匹配实际的流量。本地操作界面 (LOI) 的选项能便于用户对设备进行查看、控制和配置,无需远程二次仪表。

4800

特点

  • 流量响应时间(完成时间)<0.75 s
  • MEMS 传感器和 PID 算法
  • 尺寸小巧,不足常规热式MFC的 一半:1” x 3”x 4” (25 mm x 76 mm x 101 mm)
  • 本地操作界面 (LOI) 选项可简化设置和操作;免费提供 LabVIEW VI 下载以进行设备监测和调零
  • 通过 RS-232 实现数字化功能

优势

  • 非常适用于各种常见的无腐蚀性气体
  • 响应速度快,可在切换工艺配方时确保各步骤的迅速完成
  • 非常适用于各 OEM:尺寸小巧,集成至紧凑的设备空间内并有助于加快安装
  • 可选本地操作界面 (LOI) 是本地指示、设定值控制和设备配置的一站式解决方案;无需借助远程二次仪表
  • 拥有多种通信方式,可轻松满足用户需求

应用

  • 热处理、切割/焊接等其他热式工艺
  • 太阳能/薄膜物理气相沉积 (PVD) 系统
  • 用于测量和控制反应物、校准和样品气体流量的分析设备

©版权所有 德国Thyracont真空计 | 美国ONICON流量计 | Orange Research差压表 | 北京北方大河仪器仪表有限公司 京ICP备09061995号-7