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CDG025D 真空计

CDG025D 真空计0.1 … 1000 / 毫巴

INFICON SKY CDG025D 电容隔片真空计系列的高精度 温度补偿型压力计可以在恶劣的 生产加工环境中提供稳定性能。 高级数字电子元件用于改进 真空计的性能,具有一键调零功能 和设定点调整等易于操作的特性。 防腐蚀超纯陶瓷传感器提供 优异的零点稳定性, 预期使用寿命长达数百万次压力循环(包括气压突变)。 传感器屏蔽用于保护 真空计,使其免受加工污染。 坚固的机械设计和数字 电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度 补偿。 CDG025D 电容隔片真空计为开机后快速稳定 以及从大气气压中快速恢复的功能树立了新的标准。

CDG025D

 

益处

  • 全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托
  • 电源接通后快速稳定
  • 暴露于大气压后快速恢复
  • 防腐陶瓷传感器
  • 卓越的长期信号稳定性
  • 温度补偿
  • 传感器防污染保护
  • 一键调零功能
  • 电源范围广

典型应用

  • 用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备
  • 数据存储和显示制造设备
  • 工业真空设备
  • 常规高精度压力测量

 

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