反射镜的激光谐振腔的典型过程压力高于2e毫巴光学镀膜中。

 

• 组合传感器皮拉尼/冷阴极
• 冷阴极传感器是由Pirani自动控制
• 强大的传感器设计

 

挑战

一个合适的真空传感器必须能监控，过程压力在涂层以及10-6毫巴真空室中可用的Z小压力。我们的客户用Pirani /冷阴极组合规工作，冷阴极真空Z小和过程监测。然而，上述10-3毫巴连续操作导致传感器的早期磨损。

 

解决方案

在VSM77D/VSM77DL/VSM77E/VSM78D/VSM78DL/VSM78E/VSM79D/VSM79DL/VSM79E传感器器THYRACONT 皮拉尼冷阴极只在非常低的压力。此外，两个传感器之间的转换可以根据应用要求进行配置。这样我们就实现了整个涂装过程现在由皮拉尼监测。冷阴极被保存，因为只有当电器泵压到Z小压力时，它才处于活动状态。涂料厂的可用性显著提高。