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产品分类

真空镀膜和汽化

反射镜的激光谐振腔的典型过程压力高于2e毫巴光学镀膜中。

 

  • 组合传感器皮拉尼/冷阴极
  • 冷阴极传感器是由Pirani自动控制
  • 强大的传感器设计

 

挑战

一个合适的真空传感器必须能监控,过程压力在涂层以及10-6毫巴真空室中可用的最小压力。我们的客户用Pirani /冷阴极组合规工作,冷阴极真空最小和过程监测。然而,上述10-3毫巴连续操作导致传感器的早期磨损。

 

解决方案

在VSM77D/VSM77DL/VSM77E/VSM78D/VSM78DL/VSM78E/VSM79D/VSM79DL/VSM79E传感器器THYRACONT 皮拉尼冷阴极只在非常低的压力。此外,两个传感器之间的转换可以根据应用要求进行配置。这样我们就实现了整个涂装过程现在由皮拉尼监测。冷阴极被保存,因为只有当电器泵压到最小压力时,它才处于活动状态。涂料厂的可用性显著提高。

 

VSM77D

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