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BPG402-Sx 系列真空计

 

INFICON 贝阿德-阿尔珀特皮拉尼(Pirani)BPG402-S型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑型装置中,测量范围为 5×10-10 毫巴至大气压(3.8×10-10 托至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。选择带有两根氧化钇镀层铱丝的BPG400型真空计,价格经济,且可重复测量基准压力。传感元件自带的在轨校准数据在更换传感器时确保了高再现性。

BPG402-Sx

益处

  • 测量范围非常广,从 5×10-10毫巴至大气压(8×10-10 托至大气压)
  • 10-8… 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
  • 皮拉尼联锁保护单丝,防止过早烧毁
  • 两根使用寿命长的氧化钇铱丝
  • 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预
  • 易于更换的传感元件与板载校准数据确保高再现性
  • RoHS 合规

典型应用

  • 对半导体过程和传输腔室的压力测量
  • 工业镀膜
  • 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

 

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