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Inficon PEG100真空计

PEG100 中真空至超高真空真空计

INFICON 潘宁PEG100型真空计提供可靠的高真空测量。 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现灯丝烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低,真空计还可在溅射应用环境下运行。 现场总线选件,除了对数模拟输出信号外,允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议将真空计轻松集成到真空系统中。

PEG100

益处

  • 测量范围广,从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托)
  • 全金属冷阴极传感器(潘宁),带陶瓷馈入装置
  • 创新的电极几何形状提供卓越的点火属性
  • 等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险,即使在有氩气的溅射运行中
  • 阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换
  • 最小化真空计附近的磁场强度
  • 用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器
  • 对数模拟输出信号
  • 现场总线接口(Profibus DP、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中

典型应用

  • 高真空压力监控
  • 蒸发溅射系统
  • 高真空范围内的一般真空测量和控制

 

零件号 明细
351-002 PEG100-P 规管
351-003 PEG100D 型真空计
351-004 PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F
351-005 PEG100-P 规管

 

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